多功能镀膜机的组成

多功能镀膜机的组成

　多功能镀膜机是如何构成的？

    它是磁控溅射、蒸发镀膜以及多弧离子的一种混合型设备，是在多弧离子镀膜机的基础上装备圆柱靶或者平面磁控靶，设备具备离子镀膜机的高离化率和高堆积速度等特色，也具备磁控溅射镀膜机低温安稳的优点，适合镀膜多种复合膜。

　　①蒸腾与磁控溅射的混合设备:

　　具备多功能性，适合量产，适应性较强。

　　②磁控溅射与多弧离子镀的混合运用:

　　多弧可以进一步提高清洗质量，提高薄膜和基材的结合力。和磁控溅射镀膜机能够一同作业镀制复合膜（比如离子源清洗活化，成膜的速度比较快）。

　　③多对中频磁控溅射靶与柱弧离子镀的混合运用:

　　中频靶更安稳（比如像Al），离化率高、堆积的速度快并且成膜均匀。中频磁控溅射如镀制Si02、TiO2，能够共同镀多层不同的原料簿膜。

　　④射频、直流、中频、柱弧的混合运用：

　　射频可以直接镀制隔缘保护膜，比如SiO2/Ag/SiO2

　　⑤圆柱弧、中频、多弧的混合运用:

　　圆柱弧提高了离化率，削减了大颗粒的堆积，增加了结合力和表面光滑度，多功能镀膜机适用在档次较高的商品中，比如像表带、手机壳、饰品、眼镜框、卫浴洁具、表壳和高尔夫球具等等。