卷绕镀膜机溅射镀膜真空隔离技术

卷绕镀膜机溅射镀膜真空隔离技术

　目前卷绕镀膜机柔性透明导电薄膜沉积技术已经在触摸屏行业普遍推广，柔性透明导电膜通过卷绕镀膜设备镀制，柔性透明导电薄膜基材都是柔性材料。为解开柔性卷绕镀膜中生产完一卷膜后破真空产能低的难题，在柔性卷绕镀膜机放卷室和工艺真空室、收卷室和工艺真空室之间各增加一个隔离阀，这样在生产完一卷膜材后只要对放卷室和收卷室进行破真空处理，大大缩减了工艺真空室的抽气时间，提高生产产能。

　　卷绕镀膜机溅射镀膜真空隔离技术：

　　（1）上料，先需关闭放卷室隔离阀对放卷室进气，待放卷室达到1.0×103hPa时方可打开放卷室门并安装卷材，卷材安装完毕后，真空泵会对放卷室抽真空，当放卷室真空度达到一定数值时（放卷室与溅射镀膜室真空度相当），放卷室隔离阀打开；此时放卷室、溅射镀膜室同步抽真空。当本底真空≤2.3×10-6hPa时，方可通入溅射气、工艺气体进行生产制作

　　（2）卸料：一卷膜溅射镀膜完毕后，关闭收卷室隔离阀对收卷室进气，待放卷室达到1.0×103hPa时方可打开收卷室门，并卸料。卸料完毕后真空泵会对收卷室抽真空，当收卷室真空度达到一定数值时（收卷室与溅射镀膜室真空度相当），收卷室隔离阀打开

　　（3）真空隔离阀：由硅胶管、固定管、抽气泵电磁阀等组成。该装置装在卷绕镀膜设备放卷室与工艺真空室、收卷室与工艺真空室之间。工作时是在需要进行真空密封时通过压缩气的充入使硅胶管膨胀，从而达到密封的效果，不需要密封时通过抽气泵抽气把硅胶管内的压缩气抽离，从而达到打开的状态。硅胶管采用整注的方式进行加工，表面光洁度可以保障，其次就是硅胶可以很规律的进行填充。