光学镀膜机维护与保养（下）

光学镀膜机维护与保养（下）

一、光学镀膜机的清洗

　　设备使用一个星期后，因镀料除镀在工件表面外，亦因无定向性而工作室内的衬板上镀料，并越镀越厚，该层膜厚因组织、绕疏松，吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时，应对工作室及衬板进行清洗，如不必拆落来的部件，可用砂纸打磨干净，衬板可浸泡在氢氟酸水溶液里，氢氟酸和水的比例看需要浸泡时间长短以及不对衬板造成伤害为原则。

　　注：衬板需要烘干水份才能安装，烘干前，衬板的水分尽量抹干，工作架等部件用砂纸清洁后，需要把真空室的灰尘清理干净，此可用吸尘器吸干净灰尘。安装衬板时，真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。

　　因使用电子枪及离子源辅助镀膜，可能会造成清洁困难，可使用喷沙等方法来清洁。

　　二、光学镀膜机的保养

　　（一）定期更换扩散泵油

　　扩散泵油使用一段时间，约二个月（两班），因在长期高温环境，虽然较高真空时才启动扩散泵，但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应，扩散泵油在高温下也可能产生裂解，使其品质下降，而增加抽气时间。在我们认为时间增加得太多时，应予更换。

　　（二）真空泵

　　机械泵油、维持泵油在使用二个月，油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因，而使用油粘性变差，真空下降，故需要更换。如为新设备，在使用头半个月即应更换，因在磨合期，油含磨合铁粉较多，会加剧磨损。

　　（三）清洁卫生

　　定期将光学镀膜机及其周围环境卫生搞好，常保持设备内外清洁，将设备周围环境整理有条，有一个好的工作环境，以保安全。