真空镀膜机设备有哪些分类？

真空镀膜机设备有哪些分类？

　真空镀膜机主要是指需要在高真空下进行的镀膜，包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、分子束外延镀膜机和PLD激光溅射镀膜机。主要分为蒸发和溅射。

　　在真空镀膜设备中，需要镀膜的材料成为基体，被镀膜的材料成为靶材。衬底和靶位于同一真空腔中。蒸发镀膜一般是将靶材加热，使表面成分以原子团或离子的形式蒸发，并沉淀在基底表面，通过成膜过程形成薄膜。

　　对于溅射型镀膜，真空镀膜机可以简单地理解为用电子或激光轰击靶材，以原子团或离子的形式轰击靶材表面，后来沉积在衬底表面，经过成膜过程，后来形成薄膜。炉体可采用不锈钢、碳钢或其组合的双层水冷结构。

　　根据工艺要求，选择了不同规格和类型的镀膜设备，包括电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备设备，空心阴极离子镀和多弧离子镀。夹具的工作方式有旋转、旋转和旋转+旋转。用户可以根据芯片的尺寸和形状提出相应的要求。转速范围及精度：一般可调、变频调速等。

　　不同类型真空镀膜机的适用范围

　　1.磁控溅射镀膜设备：用于信息存储领域，如磁信息存储、磁光信息存储等

　　2.磁控溅射镀膜机：用于航空发动机叶片、汽车钢板、散热器等防护涂层

　　3.磁控溅射铝膜生产线：应用于太阳能利用领域，如太阳能集热器、太阳能电池等

　　4.光学镀膜设备：用于光学薄膜领域，如减反射膜、高反射膜、截止滤光片、防伪膜等

　　5.AZO透明导电薄膜磁控溅射镀膜生产线：应用于液晶显示器、等离子屏等信息显示领域

　　6.触摸屏连续镀膜生产线：应用于触摸屏领域，如手机、电脑、MP4等数码产品屏幕。

　　7.磁控中频多弧离子镀膜设备：用于硬质镀膜，如刀具、模具、耐磨、耐腐蚀零件等。

　　8.PECVD磁控生产线：用于集成电路制造，如薄膜电阻、薄膜电容、薄膜温度传感器等。

　　9.蒸发式真空镀膜设备：适用于手机外壳、手表外壳、眼镜框、五金、饰品等装饰附件。

　　10.低辐射玻璃镀膜生产线：用于建筑玻璃，如太阳能控制膜、低辐射玻璃、防雾防露、自洁玻璃等。

　　11.防反射导电薄膜连续磁控溅射生产线：应用于液晶、液晶电视、MP4、汽车显示器、手机显示器、数码相机、掌上电脑等电子产品领域。