真空镀膜机的各部件原理介绍

真空镀膜机的各部件原理介绍

真空镀膜机真空腔：根据加工产品要求的不同，真空腔的尺寸也不同。目前，它有很多应用，如0.9m、1.3m、1.5m、1.8m等。腔体由不锈钢制成，要求无锈、结实。真空腔的每个部分都有一个连接阀来连接每个泵。

　　辅助抽气系统：排气系统是镀膜真空系统的重要组成部分，包括机械泵、增压泵/罗茨泵和扩散泵。排气系统为：扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷井+聚氯乙烯。排气流量：机械泵先将真空室抽至低于2.0*10-2Pa的低真空状态，为扩散泵后续抽真空提供前提条件。然后在扩散泵抽真空时，将机械泵与油扩散泵组合成串联，从而完成泵送动作。

　　真空镀膜机的机械原理及分类：

　　机械泵：又称前置泵，机械泵是一种应用较广的低真空泵。它利用油保持密封效果，依靠机械方法不断改变泵内吸入腔的体积，使泵内气体体积不断膨胀，获得真空。

　　1.机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有：滑阀式（主要用于大型设备）、活塞往复式、固定板式和旋转板式

　　2.机械泵从大气中启动。其主要参数包括极限真空度和抽速。这是机械泵设计和选型的重要依据。单级泵可将容器从大气中抽至极限真空1.0*10-1pa，双级泵可将容器从大气中抽至6.7*10-2Pa，甚至更高。抽气率是指叶片泵在额定转速下工作时单位时间内可排出的空气量。计算公式为：sth=2nvs=2nfslfs为吸气端空腔截面积，l为空腔长度，系数为转子每转两次排气过程，vs为转子处于水平位置时吸气端，当腔体体积较大，转数为n时，机械泵的排气效果也与电机的转速和皮带的松紧度有关。当电机皮带松脱，电机转速很慢时，机械泵的排气效果也会变差。因此，需要定期维护和抽查。机械泵的密封效果也需要定期抽查。从过小到达不到密封效果，泵内会出现漏风和过多的油液，堵塞吸入孔，没有办法吸入和排出，一般在油位线以下0.5cm处。

　　3.真空镀膜机泵常用于抽干空气，但不能抽出含氧量高、爆炸、腐蚀性大的气体。机械泵一般用于长期抽气，但对水煤气没有较好的作用，不能抽出水煤气。旋转叶片泵的主体是定子等，转子在定子内，但与定子主轴不同，转子槽内有两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两片弹片中间装有弹簧，以保持弹片与定子内壁紧密连接定子。