真空镀膜机的组成和工作原理

真空镀膜机的组成和工作原理

　　真空镀膜机是真空条件下应用比价广的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+保冷器”组成。我公司从事真空镀膜设备的研发和生产，有经验比较丰富的技术团队和高素质的售后服务团队，解决设备使用中遇到的其他的问题。其次，详细介绍了镀膜机的组成和工作原理。

　　1.真空主体-真空室根据产品加工的不同要求，真实的腔体尺寸也不同。目前应用比较广的是直径1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。腔体采用不锈钢，要求不生锈，结实。真空室的每个部分都有一个连接阀，用于连接每个泵。

　　2.辅助抽气系统：排气系统是涂布机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+聚晶”组成。排气过程如下：机械泵先将真空镀膜机抽至小于2.0*10-2Pa的低真空状态，为扩散泵的后续抽真空提供前提。然后，扩散泵抽真空室时，机械泵与油扩散泵串联，从而完成抽真空动作。

　　机械泵：又称前置泵，是机械泵中应用比较广的低真空泵。它利用油保持密封效果，并通过机械方法不断改变泵内吸入腔的容积，使被泵容器内的气体容积不断膨胀，以获得真空。

　　镀后处理

　　1.钝化处理

　　所谓钝化处理，是指在一些溶液中进行化学处理，在涂层上形成固体、致密、稳定的膜层。钝化可大大增加涂层的耐蚀性，增加表面光泽度和抗污染能力。该方法应用较广，可在镀锌、镀铜、镀银后进行钝化处理。

　　2.脱氢处理

　　一些金属如锌，在电沉积过程中，除自身沉积外，还会析出一部分氢，这部分氢渗入镀层，使镀层变脆，甚至断裂，称为氢脆。为了清理氢脆，电镀后的真空镀膜机零件在一些温度下进行数小时的热处理，称为脱氢处理。