真空镀膜机各部分的组成和工作原理

真空镀膜机各部分的组成和工作原理

　真空镀膜机，镀膜机是真空条件下应用比较广的设备。其相关零部件有：机械泵、增压泵 、油扩散泵、凝结水泵、真空测量系统

　　下面详细介绍各部分的组成和工作原理。

　　1、 真空体——真空室

　　根据我们产品的不同要求，真腔尺寸也不同。目前应用比较广的是直径1.3m、0.9m、1.5m和 1.8m。型腔采用不锈钢，要求不生锈，坚固。真空腔的每个部分都有一个连接阀，用于连接 泵。

　　2、 辅助空气抽取系统

　　排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成

　　排气过程如下：机械泵先将真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空状态，为扩散泵的后续抽真 空提供前提。然后，扩散泵抽真空室时，机械泵与油扩散泵串联，从而完成抽真空动作。

　　排气系统是真空镀膜机系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）和 油扩散泵组成。

　　机械泵：又称前置泵，是机械泵中应用比较广的低真空泵。它利用油保持密封效果，并通过 机械方法不断改变泵内吸入腔的容积，使被泵容器内的气体容积不断膨胀，以获得真空。

　　机械泵有很多种，常用的有滑阀式（这主要用于大型设备）、活塞往复式、固定件式和旋转 件式（这是应用比较广的，本文主要介绍）四种类型。

　　机械泵常用于去除干燥空气，但不能去除高含氧量、爆炸性和腐蚀性气体。机械泵一般用于 脱除***性气体，但对水煤气效果不好，不能脱除水煤气。叶片泵的主要部件有定子、转子 、弹片等，转子在定子内，但与定子主轴不同，像两个内接圆。在转子槽中安装有两个弹片 ，弹簧安装在两个弹片的中间，以保持弹片紧密地附着在定子的内壁上。

　　以上就是关于真空镀膜机的组成的介绍，希望对您有一些帮助，还想要了解其他的消息可以 咨询我们，我们将竭诚为您服务。