真空镀膜机的常见故障维修方法

真空镀膜机的常见故障维修方法

当真空镀膜机发生故障时，先要向用户了解故障现象，然后开机观察故障，以便更准确、更快、更合理地解决故障。

　　故障解决时，检查低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室），低真空正常后开启主泵，主泵正常后检查下室是否正常

　　检查空气是否正常，再次打开高真空阀进行高真空检测和检漏，直至达到真空，极限真空，真空保护

　　恢复真空，如极限真空和真空保护正常，而恢复真空和真空不正常则可能导致主泵出现问题。

　　真空镀膜机常见故障及维修方法如下：

　　一、镀膜时真空度突然下降

　　1.汽源水回路橡胶圈损坏（更换橡胶圈）

　　2.坩埚穿孔（更换坩埚）

　　3.高压电极密封损坏（更换橡胶圈）

　　4.旋转密封处的橡胶圈损坏（更换橡胶圈）

　　5.预阀突然关闭可能导致二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

　　6.突然关闭高位阀可能导致二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

　　7.机械泵关闭可能是由于继电器断开（检查继电器是否正常）

　　8.烘烤引入线电极密封损坏（更换橡胶圈）

　　9.挡板动密封处橡胶圈损坏（更换橡胶圈）

　　10.玻璃观察窗开裂爆炸（更换玻璃）

　　二、长期以来，真空镀膜机抽真空时间很长，达不到真空、恢复真空、限制真空、保持真空

　　1.蒸发室有很多灰尘（要清洗）

　　2.扩散泵长时间未换油（应清洗换油）

　　3.前泵反向压力过高，机械泵真空度过低（清洗换油）

　　4.密封橡胶圈损坏（更换橡胶圈）

　　5.由于蒸发室长期高温，各密封胶圈老化（更换胶圈）

　　6.蒸发室进水密封处是否有橡胶圈损坏（更换橡胶圈）

　　7.各引入座螺丝螺母是否松动（重新压紧）

　　8.高低预阀密封是否靠谱（充油）