真空镀膜机漏气检查

真空镀膜机漏气检查

检查漏气是保障真空镀膜机真空度的一种方法，简称检漏。真空度的高低直接影响涂层效果，因此检漏至关重要。

　　通常，真空室中的空气泄漏发生在真空室壁上的小孔或部件前面的接头上。抽气系统抽气时，真空室中的压力会降低，内外压差会使气体从高压的外部流向低压的真空室，导致真空降低。在检漏过程中，为了做好检漏工作，有必要注意一些问题。

　　首先，检查空气泄漏是真实的还是虚拟的。由于工件数据在加热后会产生不同程度的气体，可能会被误认为是从外部流出的气体。这称为虚拟泄漏。这种情况应该消除。

　　其次，测试真空室的气封功能，确保气封功能符合要求。

　　第三，检查泄漏孔的大小、形状、方向和速度，制定并实施可行的解决方案。

　　第四，确定检测仪器的检漏率和检漏灵敏度，检查空气泄漏情况，防止部分泄漏被忽视，提高检漏精度。

　　五是掌握检漏仪的反应时间和消除时间，抓好时间，确保检漏仪工作到位。时间越短，检漏功能越差，时间越长，检漏气体和人工电就会浪费。

　　第六，还要防止泄漏堵塞。有时，由于操作错误，在泄漏检测过程中，一些灰尘或液体会堵塞泄漏，认为该方向没有泄漏。但是，当由于内外压差或其他原因导致泄漏未被堵住时，泄漏仍然存在。做好真空镀膜机的检漏工作非常重要。真空度降低的原因有很多。我们应该逐一解决这些原因，以稳定涂层的作用。

　　以上就是真空镀膜机的漏气检查步骤，希望对大家有所帮助!