光学镀膜机的维护和保养

光学镀膜机的维护和保养

光学镀膜机主要由真空镀膜机房、抽真空机组和电气柜（控制柜、电子枪柜）组成。较广的应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学镀膜设备的工作原理是利用电子束在高真空状态下将金属或非金属材料加热到适当的温度，加热后材料蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程大于从蒸发源到蒸发基底的距离。蒸发后的蒸汽分子被导向各个方向，当它们接触到基底时沉积在基底表面。

　　设备使用一周后，由于电镀材料不但镀在工件表面，而且没有方向性，镀层越来越厚。由于薄膜结构松散，缠绕松散，吸收大量气体，导致真空镀膜设备排气越来越慢，薄膜厚度越来越慢。此时，应清洁工作间和衬里。如果不需要拆卸零件，可用砂纸打磨。衬板可浸入氢氟酸水溶液中。氢氟酸和水的比例取决于浸泡时间的长短和不损坏衬板的原则。由于采用电子枪和离子源辅助涂层，可能造成清洗困难，可采用喷砂等方法进行清洗。

　　光学镀膜机的维护

　　（1）定期更换扩散泵油

　　扩散泵油使用一段时间，大约两个月（两班）。虽然扩散泵在长期高温环境下只能在高真空下启动，但氧等组分仍与扩散泵油发生反应。扩散泵油在高温下也会产生裂纹，减小其质量，增加泵送时间。当我们认为时间拖得太久时，就应该把它换掉。

　　（2）真空泵

　　机械泵油，保持泵油在使用两个月后，油质会发生变化。由于水、杂质等原因，油粘度变差，真空度下降，需要更换。如果是新设备，应在使用的前半个月更换，因为在磨合期间，油中含有较多的磨合铁粉，会加剧磨损。

　　（3）清洁度

　　定期清理光学镀膜机及其周围环境，保持设备内外清洁，整理设备周围环境，有良好的工作环境，保持安全。